ມີປັດໃຈຫຍັງແດ່ທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຈັດລະບຽບກະແສລົມໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດ?

ອັດຕາຜົນຜະລິດຂອງຊິບໃນອຸດສາຫະກຳຜະລິດ IC ແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງຢ່າງໃກ້ຊິດກັບຂະໜາດ ແລະ ຈຳນວນອະນຸພາກອາກາດທີ່ຕົກຄ້າງຢູ່ໃນຊິບ. ການຈັດລະບຽບກະແສລົມທີ່ດີສາມາດນຳເອົາອະນຸພາກທີ່ເກີດຈາກແຫຼ່ງຝຸ່ນອອກຈາກຫ້ອງທີ່ສະອາດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສະອາດຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ນັ້ນຄື, ການຈັດລະບຽບກະແສລົມໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດມີບົດບາດສຳຄັນຕໍ່ອັດຕາຜົນຜະລິດຂອງການຜະລິດ IC. ການອອກແບບການຈັດລະບຽບກະແສລົມໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດຈຳເປັນຕ້ອງບັນລຸເປົ້າໝາຍຕໍ່ໄປນີ້: ຫຼຸດຜ່ອນ ຫຼື ກຳຈັດກະແສ eddy ໃນສະໜາມໄຫຼເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການກັກຂັງຂອງອະນຸພາກທີ່ເປັນອັນຕະລາຍ; ຮັກສາຄວາມຜັນຜວນຂອງຄວາມກົດດັນໃນທາງບວກທີ່ເໝາະສົມເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂ້າມ.

ແຮງຂອງກະແສລົມ

ອີງຕາມຫຼັກການຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ແຮງທີ່ກະທຳຕໍ່ອະນຸພາກປະກອບມີ ແຮງມວນສານ, ແຮງໂມເລກຸນ, ແຮງດຶງດູດລະຫວ່າງອະນຸພາກ, ແຮງກະແສລົມ, ແລະອື່ນໆ.

ແຮງໄຫຼຂອງອາກາດ: ໝາຍເຖິງແຮງຂອງກະແສລົມທີ່ເກີດຈາກການສົ່ງ, ກະແສລົມກັບຄືນ, ກະແສລົມພາຄວາມຮ້ອນ, ການກວນທຽມ, ແລະ ກະແສລົມອື່ນໆທີ່ມີອັດຕາການໄຫຼທີ່ແນ່ນອນເພື່ອນຳເອົາອະນຸພາກໄປ. ສຳລັບການຄວບຄຸມດ້ານເຕັກນິກຂອງສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ແຮງໄຫຼຂອງອາກາດແມ່ນປັດໄຈທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດ.

ການທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າໃນການເຄື່ອນທີ່ຂອງກະແສລົມ, ອະນຸພາກຈະຕິດຕາມການເຄື່ອນທີ່ຂອງກະແສລົມດ້ວຍຄວາມໄວເກືອບເທົ່າກັນ. ສະພາບຂອງອະນຸພາກໃນອາກາດແມ່ນຖືກກຳນົດໂດຍການແຈກຢາຍຂອງກະແສລົມ. ກະແສລົມທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ອະນຸພາກພາຍໃນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ: ກະແສລົມສະໜອງອາກາດ (ລວມທັງກະແສລົມປະຖົມ ແລະ ກະແສລົມທຸຕິຍະພູມ), ກະແສລົມ ແລະ ກະແສລົມພາຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກຄົນຍ່າງ, ແລະ ກະແສລົມທີ່ເກີດຈາກການດຳເນີນງານຂອງຂະບວນການ ແລະ ອຸປະກອນອຸດສາຫະກຳ. ວິທີການສະໜອງອາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ການໂຕ້ຕອບຄວາມໄວ, ຕົວປະຕິບັດການ ແລະ ອຸປະກອນອຸດສາຫະກຳ, ແລະ ປະກົດການທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດລ້ວນແຕ່ເປັນປັດໃຈທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ລະດັບຄວາມສະອາດ.

ປັດໄຈທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການຈັດຕັ້ງກະແສລົມ

1. ອິດທິພົນຂອງວິທີການສະໜອງອາກາດ

(1). ຄວາມໄວໃນການສະໜອງອາກາດ

ເພື່ອຮັບປະກັນກະແສລົມທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ຄວາມໄວໃນການສະໜອງອາກາດຕ້ອງເປັນສະໝໍ່າສະເໝີໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດໃນທິດທາງດຽວ; ເຂດຕາຍຂອງໜ້າດິນສະໜອງອາກາດຕ້ອງມີຂະໜາດນ້ອຍ; ແລະ ການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມດັນໃນ ULPA ກໍ່ຕ້ອງເປັນສະໝໍ່າສະເໝີເຊັ່ນກັນ.

ຄວາມໄວໃນການສະໜອງອາກາດທີ່ເປັນເອກະພາບ: ນັ້ນຄື, ຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຂອງກະແສລົມຖືກຄວບຄຸມພາຍໃນ ±20%.

ຫຼຸດພື້ນທີ່ຕາຍເທິງໜ້າດິນສະໜອງອາກາດ: ບໍ່ພຽງແຕ່ຄວນຫຼຸດຜ່ອນພື້ນທີ່ຮາບພຽງຂອງກອບ ULPA ເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ສິ່ງທີ່ສຳຄັນກວ່ານັ້ນ, ຄວນຮັບຮອງເອົາ FFU ແບບໂມດູນເພື່ອເຮັດໃຫ້ກອບທີ່ຊໍ້າຊ້ອນງ່າຍຂຶ້ນ.

ເພື່ອຮັບປະກັນກະແສລົມໃນທິດທາງດຽວແນວຕັ້ງ, ການເລືອກຄວາມດັນຫຼຸດລົງຂອງຕົວກອງກໍ່ມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍເຊັ່ນກັນ, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ການສູນເສຍຄວາມດັນໃນຕົວກອງບໍ່ສາມາດບ່ຽງເບນໄດ້.

(2). ການປຽບທຽບລະຫວ່າງລະບົບ FFU ແລະລະບົບພັດລົມໄຫຼຕາມແກນ

FFU ແມ່ນໜ່ວຍສະໜອງອາກາດທີ່ມີພັດລົມ ແລະ ຕົວກອງ (ULPA). ຫຼັງຈາກອາກາດຖືກດູດເຂົ້າໂດຍພັດລົມ centrifugal ຂອງ FFU, ຄວາມດັນໄດນາມິກຈະຖືກປ່ຽນເປັນຄວາມດັນສະຖິດໃນທໍ່ລະບາຍອາກາດ ແລະ ຖືກເປົ່າອອກຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີໂດຍ ULPA. ຄວາມດັນສະໜອງອາກາດເທິງເພດານແມ່ນຄວາມດັນລົບ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງບໍ່ມີຝຸ່ນຮົ່ວໄຫຼເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງສະອາດເມື່ອປ່ຽນຕົວກອງ. ການທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າລະບົບ FFU ດີກ່ວາລະບົບພັດລົມກະແສແກນໃນດ້ານຄວາມສະເໝີພາບຂອງທໍ່ລະບາຍອາກາດ, ຄວາມຂະໜານຂອງກະແສລົມ ແລະ ດັດຊະນີປະສິດທິພາບການລະບາຍອາກາດ. ນີ້ແມ່ນຍ້ອນວ່າຄວາມຂະໜານຂອງກະແສລົມຂອງລະບົບ FFU ດີກວ່າ. ການນຳໃຊ້ລະບົບ FFU ສາມາດເຮັດໃຫ້ກະແສລົມໃນຫ້ອງສະອາດເປັນລະບຽບດີຂຶ້ນ.

(3). ອິດທິພົນຂອງໂຄງສ້າງຂອງ FFU ເອງ

FFU ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍພັດລົມ, ຕົວກອງ, ອຸປະກອນນຳທາງກະແສລົມ ແລະ ອົງປະກອບອື່ນໆ. ຕົວກອງປະສິດທິພາບສູງພິເສດ ULPA ແມ່ນການຮັບປະກັນທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດວ່າຫ້ອງສະອາດສາມາດບັນລຸຄວາມສະອາດທີ່ຕ້ອງການຂອງການອອກແບບໄດ້ຫຼືບໍ່. ວັດສະດຸຂອງຕົວກອງຍັງຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງພາກສະໜາມໄຫຼ. ເມື່ອວັດສະດຸຕົວກອງຫຍາບ ຫຼື ແຜ່ນໄຫຼແບບລຽບຖືກເພີ່ມເຂົ້າໃນທາງອອກຂອງຕົວກອງ, ພາກສະໜາມໄຫຼອອກສາມາດເຮັດໃຫ້ເປັນເອກະພາບໄດ້ງ່າຍ.

2. ຜົນກະທົບຂອງການໂຕ້ຕອບຄວາມໄວທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຄວາມສະອາດ

ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດດຽວກັນ, ລະຫວ່າງພື້ນທີ່ເຮັດວຽກ ແລະ ພື້ນທີ່ບໍ່ເຮັດວຽກທີ່ມີກະແສລົມທິດທາງດຽວແນວຕັ້ງ, ເນື່ອງຈາກຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມໄວອາກາດຢູ່ທີ່ທາງອອກ ULPA, ຈະເກີດຜົນກະທົບຂອງກະແສລົມໝູນປະສົມຢູ່ທີ່ໜ້າຕໍ່, ແລະ ໜ້າຕໍ່ນີ້ຈະກາຍເປັນເຂດກະແສລົມທີ່ປັ່ນປ່ວນທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອາກາດທີ່ປັ່ນປ່ວນສູງໂດຍສະເພາະ. ອະນຸພາກອາດຈະຖືກສົ່ງໄປຫາພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນ ແລະ ປົນເປື້ອນອຸປະກອນ ແລະ ແຜ່ນແພ.

3. ຜົນກະທົບຂອງພະນັກງານ ແລະ ອຸປະກອນ

ເມື່ອຫ້ອງສະອາດຫວ່າງເປົ່າ, ລັກສະນະການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດໃນຫ້ອງໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານການອອກແບບ. ເມື່ອອຸປະກອນເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງສະອາດ, ບຸກຄະລາກອນເຄື່ອນຍ້າຍ ແລະ ຜະລິດຕະພັນຖືກສົ່ງຕໍ່, ຈະມີອຸປະສັກຕໍ່ການຈັດຕັ້ງການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດຢ່າງຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້. ຕົວຢ່າງ, ຢູ່ແຈ ຫຼື ຂອບທີ່ຍື່ນອອກມາຂອງອຸປະກອນ, ອາຍແກັສຈະຖືກປ່ຽນທິດທາງເພື່ອສ້າງເຂດທີ່ປັ່ນປ່ວນ, ແລະ ນ້ຳໃນເຂດນັ້ນບໍ່ສາມາດຖືກອາຍແກັສພັດໄປໄດ້ງ່າຍ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນຈະຮ້ອນຂຶ້ນເນື່ອງຈາກການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ແລະ ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຈະເຮັດໃຫ້ເກີດເຂດ reflow ໃກ້ກັບເຄື່ອງ, ເຊິ່ງຈະເພີ່ມການສະສົມຂອງອະນຸພາກໃນເຂດ reflow. ໃນເວລາດຽວກັນ, ອຸນຫະພູມສູງຈະເຮັດໃຫ້ອະນຸພາກຫຼົ່ນອອກໄດ້ງ່າຍ. ຜົນກະທົບສອງຢ່າງນີ້ເຮັດໃຫ້ຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການຄວບຄຸມຄວາມສະອາດແບບລຽບຕາມແນວຕັ້ງໂດຍລວມຮ້າຍແຮງຂຶ້ນ. ຝຸ່ນຈາກຜູ້ປະຕິບັດງານໃນຫ້ອງສະອາດແມ່ນງ່າຍທີ່ຈະຕິດກັບແຜ່ນບາງໆໃນເຂດ reflow ເຫຼົ່ານີ້.

4. ອິດທິພົນຂອງພື້ນອາກາດກັບຄືນ

ເມື່ອຄວາມຕ້ານທານຂອງອາກາດກັບຄືນທີ່ຜ່ານພື້ນແຕກຕ່າງກັນ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມກົດດັນຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນ, ດັ່ງນັ້ນອາກາດຈະໄຫຼໄປໃນທິດທາງທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານໜ້ອຍລົງ, ແລະ ກະແສລົມຈະບໍ່ໄດ້ຮັບຄວາມສະເໝີພາບ. ວິທີການອອກແບບທີ່ນິຍົມໃນປະຈຸບັນແມ່ນການໃຊ້ພື້ນຍົກສູງ. ເມື່ອອັດຕາການເປີດຂອງພື້ນຍົກສູງແມ່ນ 10%, ຄວາມໄວຂອງກະແສລົມໃນລະດັບຄວາມສູງໃນການເຮັດວຽກຂອງຫ້ອງສາມາດແຈກຢາຍໄດ້ຢ່າງເທົ່າທຽມກັນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວນເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ວຽກງານທຳຄວາມສະອາດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນແຫຼ່ງມົນລະພິດຂອງພື້ນ.

5. ປະກົດການການຊັກນຳ

ປະກົດການທີ່ເອີ້ນວ່າ induction ໝາຍເຖິງປະກົດການທີ່ກະແສລົມໃນທິດທາງກົງກັນຂ້າມກັບການໄຫຼທີ່ເປັນເອກະພາບຖືກສ້າງຂຶ້ນ, ແລະຝຸ່ນທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນຫ້ອງ ຫຼື ຝຸ່ນໃນພື້ນທີ່ປົນເປື້ອນທີ່ຢູ່ຕິດກັນຖືກກະຕຸ້ນໄປທາງລົມ, ດັ່ງນັ້ນຝຸ່ນສາມາດປົນເປື້ອນຊິບໄດ້. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນປະກົດການ induction ທີ່ເປັນໄປໄດ້:

(1). ແຜ່ນປິດບັງ

ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດທີ່ມີການໄຫຼວຽນທາງດຽວໃນແນວຕັ້ງ, ເນື່ອງຈາກຂໍ້ຕໍ່ຢູ່ເທິງຝາ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະມີແຜ່ນມ່ານຂະໜາດໃຫຍ່ທີ່ຈະສ້າງຄວາມວຸ້ນວາຍໃນກະແສໄຫຼກັບຄືນໃນທ້ອງຖິ່ນ.

(2). ໂຄມໄຟ

ອຸປະກອນໄຟໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດຈະມີຜົນກະທົບຫຼາຍກວ່າ. ເນື່ອງຈາກຄວາມຮ້ອນຂອງໂຄມໄຟ fluorescent ເຮັດໃຫ້ກະແສລົມເພີ່ມຂຶ້ນ, ຈະບໍ່ມີພື້ນທີ່ທີ່ວຸ້ນວາຍພາຍໃຕ້ໂຄມໄຟ fluorescent. ໂດຍທົ່ວໄປ, ໂຄມໄຟໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດຖືກອອກແບບເປັນຮູບຊົງນ້ຳຕາເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງໂຄມໄຟຕໍ່ການຈັດຕັ້ງກະແສລົມ.

(3.) ຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງຝາຜະໜັງ

ເມື່ອມີຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງຝາຜະໜັງທີ່ມີລະດັບຄວາມສະອາດແຕກຕ່າງກັນ ຫຼື ລະຫວ່າງຝາຜະໜັງ ແລະ ເພດານ, ຝຸ່ນຈາກພື້ນທີ່ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດຕ່ຳສາມາດຖືກຖ່າຍໂອນໄປສູ່ພື້ນທີ່ຕິດກັນທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດສູງ.

(4). ໄລຍະຫ່າງລະຫວ່າງເຄື່ອງຈັກ ແລະ ພື້ນ ຫຼື ຝາ

ຖ້າຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງເຄື່ອງຈັກ ແລະ ພື້ນ ຫຼື ຝາມີຂະໜາດນ້ອຍຫຼາຍ, ມັນຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການສັ່ນສະເທືອນ. ດັ່ງນັ້ນ, ໃຫ້ເວັ້ນຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງອຸປະກອນ ແລະ ຝາ ແລະ ຍົກເຄື່ອງຈັກຂຶ້ນເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການໃຫ້ເຄື່ອງຈັກແຕະພື້ນໂດຍກົງ.