ປັດໃຈໃດທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ອົງການ Air ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດ?

ອັດຕາການໃຫ້ຜົນຜະລິດຂອງຊິບໃນອຸດສະຫະກໍາການຜະລິດ IC ແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງຢ່າງໃກ້ຊິດກັບຂະຫນາດແລະຈໍານວນອາກາດທີ່ຝາກໄວ້ເທິງຊິບ. ອົງການ Air ທີ່ດີສາມາດເອົາອະນຸພາກທີ່ຜະລິດໂດຍບໍລິເວນທີ່ຢູ່ຫ່າງຈາກຫ້ອງທີ່ສະອາດເພື່ອຮັບປະກັນບົດບາດທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດຂອງ IC. ການອອກແບບຂອງອົງການຈັດຕັ້ງອາກາດໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດຕ້ອງການບັນລຸເປົ້າຫມາຍຕໍ່ໄປນີ້: ຫຼຸດຜ່ອນຫຼືລົບລ້າງກະແສໄຟຟ້າໃນສະຫນາມກະແສໄຟຟ້າເພື່ອຫລີກລ້ຽງການຮັກສາຂອງອະນຸພາກທີ່ເປັນອັນຕະລາຍ; ຮັກສາຄວາມກົດດັນໃນທາງບວກທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂ້າມ.

ຜົນກໍາໄລຂອງ Airflow

ອີງຕາມຫລັກການຫ້ອງສະອາດ, ກໍາລັງປະຕິບັດໃນອະນຸພາກລວມມີກໍາມະສິດລວມມີກໍາລັງມະຫາຊົນ, ກໍາລັງໂມເລກຸນ, ຄວາມດຶງດູດລະຫວ່າງອະນຸພາກ, ແລະອື່ນໆ.

ກໍາລັງ Airlflow: ຫມາຍເຖິງກໍາລັງຂອງກະແສລົມທີ່ເກີດຈາກການຈັດສົ່ງ, ກະແສລົມ, ກະແສລົມ, ແລະໄຟຟ້າອື່ນໆທີ່ມີອັດຕາການໄຫຼຫນຶ່ງຂອງກະແສ. ສໍາລັບການຄວບຄຸມເຕັກນິກຂອງສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງສະອາດ, ກໍາລັງກະແສລົມແມ່ນປັດໃຈທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດ.

ການທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າໃນການເຄື່ອນໄຫວທາງອາກາດ, ອະນຸພາກດັ່ງກ່າວປະຕິບັດຕາມການເຄື່ອນໄຫວທາງອາກາດໃນຄວາມໄວເກືອບຄືກັນ. ສະພາບຂອງອະນຸພາກໃນອາກາດໄດ້ຖືກກໍານົດໂດຍການແຈກຢາຍ Airflip. ກະແສລົມທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ອະນຸພາກພາຍໃນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບມີ: Airflow ສະຫນອງອາກາດ (ກະແສລົມກາງ), ກະແສລົມທາງອາກາດປະຖົມແລະໄຟຟ້າທີ່ເກີດຈາກການປະຕິບັດງານແລະອຸປະກອນອຸດສາຫະກໍາ. ວິທີການສະຫນອງອາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ມີການໂຕ້ຕອບຄວາມໄວ, ອຸປະກອນການປະຕິບັດງານ, ແລະອຸປະກອນຄວາມໄວ, ແລະປະກົດການທີ່ເຮັດດ້ວຍໄມ້ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດແມ່ນປັດໃຈທັງຫມົດທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ລະດັບຄວາມສະອາດ.

ປັດໃຈທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ອົງການ Air

1. ອິດທິພົນຂອງວິທີການສະຫນອງອາກາດ

(1). ຄວາມໄວການສະຫນອງອາກາດ

ເພື່ອຮັບປະກັນອາກາດທີ່ເປັນເອກະພາບ, ຄວາມໄວການສະຫນອງທາງອາກາດຕ້ອງເປັນເອກະພາບໃນຫ້ອງສະອາດທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນ; ເຂດທີ່ເສຍຊີວິດຂອງພື້ນຜິວການສະຫນອງອາກາດຕ້ອງນ້ອຍ; ແລະການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມກົດດັນໃນ ULPA ກໍ່ຕ້ອງເປັນເອກະພາບຄືກັນ.

ຄວາມໄວຂອງການສະຫນອງອາກາດທີ່ເປັນເອກະພາບ: ນັ້ນແມ່ນຄວາມບໍ່ເທົ່າກັບຂອງອາກາດແມ່ນຖືກຄວບຄຸມພາຍໃນ± 20%.

ເຂດທີ່ເສຍຊີວິດຫນ້ອຍລົງໃນພື້ນທີ່ສະຫນອງອາກາດ: ບໍ່ພຽງແຕ່ຄວນວາງຍົນຂອງ ULPA ເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ວ່າສໍາຄັນກວ່ານັ້ນ, FFU ທີ່ເຮັດໃຫ້ງ່າຍຂື້ນ.

ເພື່ອຮັບປະກັນອາກາດທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນແນວຕັ້ງ, ການເລືອກຄວາມກົດດັນຂອງການກັ່ນຕອງແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ, ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມກົດດັນໃນການສູນເສຍຄວາມກົດດັນໃນຕົວກອງບໍ່ສາມາດຫລອກລວງໄດ້.

(2). ການປຽບທຽບລະຫວ່າງລະບົບ FFU ແລະລະບົບພັດລົມ Flow Flow

FFU ແມ່ນຫນ່ວຍສະຫນອງອາກາດທີ່ມີພັດລົມແລະຕົວກອງ (ULPA). ຫຼັງຈາກທີ່ອາກາດຖືກດູດໂດຍພັດລົມ centrifugal ຂອງ FFU, ຄວາມກົດດັນແບບເຄື່ອນໄຫວແມ່ນປ່ຽນເປັນຄວາມກົດດັນທີ່ສະຖິດຢູ່ໃນທໍ່ທາງອາກາດແລະຖືກລະເບີດອອກໂດຍ ULPA. ຄວາມກົດດັນຂອງການສະຫນອງທາງອາກາດແມ່ນຄວາມກົດດັນທາງລົບ, ເພື່ອບໍ່ໃຫ້ຂີ້ຝຸ່ນຈະຮົ່ວເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດເມື່ອຕົວກອງຖືກທົດແທນ. ການທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າລະບົບ FFU ແມ່ນເຫນືອກວ່າລະບົບພັດລົມຂອງ Axu ທີ່ມີຄວາມເປັນເອກະພາບ, ກະແສລົມພັດທະນາ. ນີ້ແມ່ນຍ້ອນວ່າການຂະຫຍາຍອາກາດຂະຫນານຂອງລະບົບ FFU ແມ່ນດີກວ່າ. ການນໍາໃຊ້ລະບົບ FFU ສາມາດເຮັດໃຫ້ກະແສລົມໃນຫ້ອງສະອາດໄດ້ຈັດຂື້ນ.

(3). ອິດທິພົນຂອງໂຄງສ້າງຂອງຕົວເອງຂອງ FFU

FFU ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍແຟນເພງ, ຕົວກອງ, ອຸປະກອນຄູ່ມືການໄຫຼວຽນແລະສ່ວນປະກອບອື່ນໆ. ການກັ່ນຕອງປະສິດທິພາບສູງສຸດທີ່ສຸດຂອງ ULPA ແມ່ນການຄ້ໍາປະກັນທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດສໍາລັບວ່າຫ້ອງທີ່ສະອາດສາມາດບັນລຸຄວາມສະອາດທີ່ຕ້ອງການການອອກແບບ. ເອກະສານຂອງການກັ່ນຕອງຍັງຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງສະຫນາມກະແສ. ໃນເວລາທີ່ອຸປະກອນການກັ່ນຕອງຫຍາບຫຼືແຜ່ນປ້າຍວົງຈອນທີ່ຖືກເພີ່ມໃສ່ຕົວກອງຕົວກອງ, ພາກສະຫນາມກະແສຂອງຮ້ານສາມາດເຮັດໃຫ້ເປັນເອກະພາບໄດ້ງ່າຍ.

2. . ຜົນກະທົບຂອງການໂຕ້ຕອບຄວາມໄວທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຄວາມສະອາດຂອງຄວາມສະອາດ

ຢູ່ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດຄືກັນ, ລະຫວ່າງພື້ນທີ່ເຮັດວຽກແລະພື້ນທີ່ທີ່ບໍ່ເຮັດວຽກຂອງການໄຫຼວຽນຂອງຕັ້ງ, ເນື່ອງຈາກຄວາມໄວຂອງ ulpa, ຜົນກະທົບ vortex ປະສົມຈະໄດ້ຮັບການໂຕ້ຕອບ ເຂດກະແສ Air ທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂອງຄວາມເຄັ່ງຕຶງທາງອາກາດສູງໂດຍສະເພາະ. ອະນຸພາກອາດຈະຖືກສົ່ງໄປສູ່ພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນແລະປົນເປື້ອນອຸປະກອນແລະເຄື່ອງເປົ່າ.

3. ຜົນກະທົບຂອງພະນັກງານແລະອຸປະກອນ

ໃນເວລາທີ່ຫ້ອງທີ່ສະອາດຫວ່າງເປົ່າ, ຄຸນລັກສະນະກະແສລົມໃນຫ້ອງໂດຍທົ່ວໄປພົບກັບຄວາມຕ້ອງການການອອກແບບ. ເມື່ອອຸປະກອນເຂົ້າຫ້ອງສະອາດ, ການເຄື່ອນຍ້າຍບຸກຄະລາກອນແລະຜະລິດຕະພັນແມ່ນຖືກສົ່ງຕໍ່, ມັນຈະຫລີກລ້ຽງອຸປະສັກໃນອົງການຈັດຕັ້ງຂອງອາກາດ. ຍົກຕົວຢ່າງ, ຢູ່ໃນມູມຫຼືແຄມຂອງອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມວຸ້ນວາຍ, ມັນຈະຖືກປ່ຽນໄປເພື່ອປະກອບເປັນເຂດທີ່ປັ່ນປ່ວນ, ແລະນ້ໍາໃນເຂດບໍ່ສາມາດປະຕິບັດໄດ້ງ່າຍດ້ວຍອາຍແກັສ, ສະນັ້ນກໍ່ໃຫ້ເກີດມົນລະພິດ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນຈະເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນເນື່ອງຈາກການດໍາເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ແລະ gradient ອຸນຫະພູມຈະເຮັດໃຫ້ເຂດທີ່ຢູ່ໃກ້ກັບເຄື່ອງຂອງໃນເຂດທີ່ມີການສະສົມໃນເຂດຫ່າງໄກ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ອຸນຫະພູມສູງກໍ່ຈະເຮັດໃຫ້ອະນຸພາກຫນີ. ຜົນກະທົບແບບສອງຢ່າງເຮັດໃຫ້ຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການຄວບຄຸມຄວາມສະອາດຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດແນວຕັ້ງແນວຕັ້ງໂດຍເຈດຕະນາ. ຂີ້ຝຸ່ນຈາກຜູ້ປະຕິບັດງານຢູ່ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດແມ່ນງ່າຍທີ່ຈະຍຶດຫມັ້ນກັບຜູ້ທີ່ຕ້ອງການຢາກຢູ່ໃນເຂດທີ່ມີການນໍາສົ່ງເຫຼົ່ານີ້.

. ອິດທິພົນຂອງຊັ້ນອາກາດກັບຄືນ

ໃນເວລາທີ່ຄວາມຕ້ານທານຂອງການກັບຄືນທາງອາກາດໂດຍຜ່ານພື້ນເຮືອນແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມກົດດັນຈະຖືກຜະລິດ, ເພື່ອໃຫ້ອາກາດຈະມີການຕໍ່ຕ້ານຫນ້ອຍ, ແລະບໍ່ໄດ້ຮັບ. ວິທີການອອກແບບທີ່ນິຍົມໃນປະຈຸບັນແມ່ນໃຊ້ພື້ນເຮືອນທີ່ສູງຂື້ນ. ໃນເວລາທີ່ອັດຕາການເປີດພື້ນເຮືອນສູງແມ່ນ 10%, ຄວາມໄວຂອງກະແສລົມໃນລະດັບຄວາມສູງຂອງຫ້ອງສາມາດແຈກຢາຍໃຫ້ແສງໄດ້. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວນເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງເຄັ່ງຄັດຕໍ່ວຽກງານທໍາຄວາມສະອາດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນແຫຼ່ງມົນລະພິດຂອງພື້ນເຮືອນ.

5. ປະກົດການ indivaly

ທີ່ເອີ້ນວ່າປະກົດການ induction ຫມາຍເຖິງປະກົດການທີ່ມີອາກາດໃນທິດທາງກົງກັນຂ້າມຂອງກະແສໄຟຟ້າທີ່ຜະລິດຢູ່ໃນຫ້ອງທີ່ມີອາວຸດຢູ່ໃນບໍລິເວນທີ່ປົນເປື້ອນ, ສະນັ້ນ ສາມາດປົນເປື້ອນຊິບ. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນປະກົດການ induction ທີ່ເປັນໄປໄດ້:

(1). ແຜ່ນຕາບອດ

ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດດ້ວຍກະແສທີ່ບໍ່ມີສາຍຕັ້ງ, ເນື່ອງຈາກຂໍ້ຕໍ່ທີ່ຢູ່ເທິງຝາ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວກໍ່ຈະສ້າງກະແສໄຟຟ້າຂະຫນາດໃຫຍ່ໃນການໄຫຼວຽນຂອງທ້ອງຖິ່ນ.

(2). ເຖິກ

ການແຂ່ງຂັນເຮັດໃຫ້ມີແສງໃນຫ້ອງສະອາດຈະມີຜົນກະທົບຫຼາຍກວ່າເກົ່າ. ນັບຕັ້ງແຕ່ຄວາມຮ້ອນຂອງໂຄມໄຟ fluorescent ເຮັດໃຫ້ກະແສ airflow ທີ່ຈະເພີ່ມສູງຂຶ້ນ, ຈະມີພື້ນທີ່ທີ່ງຽບສະຫງົບຢູ່ໃຕ້ໂຄມໄຟ fluorescent. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ໂຄມໄຟໃນຫ້ອງສະອາດຖືກອອກແບບໃນຮູບຊົງທີ່ເປັນຕາຢ້ານເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງໂຄມໄຟໃນອົງການຈັດສົ່ງອາກາດ.

(3. ) ຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງຝາ

ໃນເວລາທີ່ມີຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງການແບ່ງປັນທີ່ມີລະດັບຄວາມສະອາດແຕກຕ່າງກັນຫຼືລະຫວ່າງການແບ່ງສ່ວນແລະເພດານ, ຂີ້ຝຸ່ນຈາກພື້ນທີ່ທີ່ມີຄວາມສະອາດສູງທີ່ມີຄວາມສະອາດ.

(4). ໄລຍະຫ່າງລະຫວ່າງເຄື່ອງແລະພື້ນເຮືອນຫຼືຝາ

ຖ້າຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງເຄື່ອງຈັກແລະພື້ນເຮືອນຫຼືຝາແມ່ນນ້ອຍຫຼາຍ, ມັນຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມວຸ້ນວາຍໃນການຟື້ນຕົວ. ເພາະສະນັ້ນ, ປ່ອຍໃຫ້ຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງອຸປະກອນແລະກໍາແພງແລະຍົກເຄື່ອງເພື່ອຫລີກລ້ຽງການປ່ອຍໃຫ້ເຄື່ອງຫມາຍສໍາຜັດກັບພື້ນດິນໂດຍກົງ.