ປັດໃຈໃດແດ່ທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຈັດລະບຽບຂອງກະແສລົມໃນຫ້ອງສະອາດ?

ອັດຕາຜົນຜະລິດຂອງຊິບໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ IC ແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງຢ່າງໃກ້ຊິດກັບຂະຫນາດແລະຈໍານວນອະນຸພາກອາກາດທີ່ຝາກໄວ້ໃນຊິບ. ອົງການຈັດຕັ້ງການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດທີ່ດີສາມາດເອົາອະນຸພາກທີ່ຜະລິດຈາກແຫຼ່ງຂີ້ຝຸ່ນອອກຈາກຫ້ອງສະອາດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສະອາດຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ນັ້ນແມ່ນ, ອົງການຈັດຕັ້ງການໄຫຼຂອງອາກາດໃນຫ້ອງສະອາດມີບົດບາດສໍາຄັນໃນອັດຕາຜົນຜະລິດຂອງການຜະລິດ IC. ການອອກແບບຂອງອົງການຈັດຕັ້ງການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດຕ້ອງການເພື່ອບັນລຸເປົ້າຫມາຍດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້: ຫຼຸດຜ່ອນຫຼືລົບລ້າງກະແສລົມໃນພາກສະຫນາມໄຫຼເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການເກັບຮັກສາອະນຸພາກທີ່ເປັນອັນຕະລາຍ; ຮັກສາລະດັບຄວາມກົດດັນທາງບວກທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂ້າມ.

ແຮງໄຫຼຂອງອາກາດ

ຕາມ​ຫຼັກການ​ຫ້ອງ​ສະອາດ, ​ກຳລັງ​ທີ່​ເຮັດ​ໃຫ້​ອະນຸພາກ​ປະກອບ​ມີ​ກຳລັງ​ມະຫາຊົນ, ​ແຮງ​ໂມ​ເລ​ກຸນ, ແຮງ​ດຶງ​ດູດ​ລະຫວ່າງ​ອະນຸພາກ, ​ແຮງ​ໄຫຼ​ຂອງ​ອາກາດ, ​ແລະ ອື່ນໆ.

Airflow force: ຫມາຍເຖິງແຮງຂອງກະແສລົມທີ່ເກີດຈາກການສົ່ງ, ກະແສລົມກັບຄືນ, ກະແສລົມ convection ຄວາມຮ້ອນ, stirring ປອມ, ແລະກະແສລົມອື່ນໆທີ່ມີອັດຕາການໄຫຼທີ່ແນ່ນອນເພື່ອປະຕິບັດອະນຸພາກ. ສໍາລັບການຄວບຄຸມດ້ານວິຊາການຂອງສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ກໍາລັງການໄຫຼຂອງອາກາດແມ່ນປັດໃຈສໍາຄັນທີ່ສຸດ.

ການ​ທົດ​ລອງ​ໄດ້​ສະ​ແດງ​ໃຫ້​ເຫັນ​ວ່າ​ໃນ​ການ​ເຄື່ອນ​ໄຫວ​ຂອງ​ການ​ໄຫຼ​ຂອງ​ອາ​ກາດ​, particles ໄດ້​ຕິດ​ຕາມ​ການ​ເຄື່ອນ​ໄຫວ​ຂອງ​ການ​ໄຫຼ​ຂອງ​ອາ​ກາດ​ໃນ​ຄວາມ​ໄວ​ເກືອບ​ດຽວ​ກັນ​. ສະຖານະຂອງອະນຸພາກຢູ່ໃນອາກາດແມ່ນຖືກກໍານົດໂດຍການກະຈາຍກະແສລົມ. ກະແສລົມທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ອະນຸພາກພາຍໃນເຮືອນສ່ວນໃຫຍ່ປະກອບມີ: ກະແສລົມທີ່ສະຫນອງອາກາດ (ລວມທັງການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດປະຖົມແລະກະແສລົມທີສອງ), ກະແສລົມແລະການໄຫຼວຽນຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກຄົນຍ່າງ, ແລະກະແສລົມທີ່ເກີດຈາກການດໍາເນີນງານຂອງຂະບວນການແລະອຸປະກອນອຸດສາຫະກໍາ. ວິທີການສະຫນອງອາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ການໂຕ້ຕອບຄວາມໄວ, ຜູ້ປະກອບການແລະອຸປະກອນອຸດສາຫະກໍາ, ແລະປະກົດການ induced ໃນຫ້ອງສະອາດແມ່ນປັດໃຈທັງຫມົດຜົນກະທົບຕໍ່ລະດັບຄວາມສະອາດ.

ປັດໃຈທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຈັດລຽງຂອງກະແສລົມ

1. ອິດທິພົນຂອງວິທີການສະຫນອງອາກາດ

(1). ຄວາມໄວການສະຫນອງອາກາດ

ເພື່ອຮັບປະກັນການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດທີ່ເປັນເອກະພາບ, ຄວາມໄວການສະຫນອງອາກາດຕ້ອງເປັນເອກະພາບໃນຫ້ອງສະອາດ unidirectional; ເຂດຕາຍຂອງຫນ້າດິນການສະຫນອງອາກາດຕ້ອງມີຂະຫນາດນ້ອຍ; ແລະການຫຼຸດລົງຄວາມກົດດັນໃນ ULPA ຈະຕ້ອງເປັນເອກະພາບ.

ຄວາມ​ໄວ​ການ​ສະ​ຫນອງ​ອາ​ກາດ​ທີ່​ເປັນ​ເອ​ກະ​ພາບ​: ນັ້ນ​ແມ່ນ​, ຄວາມ​ບໍ່​ສະ​ເຫມີ​ພາບ​ຂອງ​ການ​ໄຫຼ​ຂອງ​ອາ​ກາດ​ໄດ້​ຖືກ​ຄວບ​ຄຸມ​ພາຍ​ໃນ ± 20​%​.

ເຂດທີ່ຕາຍແລ້ວຫນ້ອຍລົງໃນດ້ານການສະຫນອງອາກາດ: ບໍ່ພຽງແຕ່ພື້ນທີ່ຍົນຂອງກອບ ULPA ຄວນຖືກຫຼຸດລົງ, ແຕ່ສໍາຄັນກວ່ານັ້ນ, ຄວນຖືກຮັບຮອງເອົາແບບໂມດູນ FFU ເພື່ອເຮັດໃຫ້ກອບທີ່ຊ້ໍາຊ້ອນ.

ເພື່ອຮັບປະກັນການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດ unidirectional ຕັ້ງ, ການເລືອກຫຼຸດລົງຄວາມກົດດັນຂອງການກັ່ນຕອງຍັງມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ, ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ການສູນເສຍຄວາມກົດດັນໃນການກັ່ນຕອງບໍ່ສາມາດ deviate.

(2). ການປຽບທຽບລະຫວ່າງລະບົບ FFU ແລະລະບົບພັດລົມໄຫຼຕາມແກນ

FFU ເປັນຫນ່ວຍສະຫນອງອາກາດທີ່ມີພັດລົມແລະການກັ່ນຕອງ (ULPA). ຫຼັງຈາກທີ່ອາກາດຖືກດູດໂດຍພັດລົມ centrifugal ຂອງ FFU, ຄວາມກົດດັນແບບເຄື່ອນໄຫວຈະຖືກປ່ຽນເປັນຄວາມກົດດັນສະຖິດຢູ່ໃນທໍ່ອາກາດແລະລະເບີດອອກຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໂດຍ ULPA. ຄວາມກົດດັນການສະຫນອງອາກາດຢູ່ເທິງເພດານແມ່ນຄວາມກົດດັນທາງລົບ, ເພື່ອບໍ່ໃຫ້ຂີ້ຝຸ່ນຮົ່ວເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດເມື່ອປ່ຽນການກັ່ນຕອງ. ການທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າລະບົບ FFU ດີກວ່າລະບົບພັດລົມໄຫຼຕາມແກນໃນແງ່ຂອງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງທໍ່ລະບາຍອາກາດ, ຄວາມຂະຫນານຂອງກະແສລົມແລະດັດຊະນີປະສິດທິພາບການລະບາຍອາກາດ. ນີ້ແມ່ນຍ້ອນວ່າການຂະຫນານຂອງ airflow ຂອງລະບົບ FFU ແມ່ນດີກວ່າ. ການນໍາໃຊ້ລະບົບ FFU ສາມາດເຮັດໃຫ້ການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດໃນຫ້ອງສະອາດເປັນລະບຽບທີ່ດີກວ່າ.

(3). ອິດທິພົນຂອງໂຄງສ້າງຂອງຕົນເອງຂອງ FFU

FFU ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍພັດລົມ, ຕົວກອງ, ອຸປະກອນຄູ່ມືການໄຫຼຂອງອາກາດແລະອົງປະກອບອື່ນໆ. ການກັ່ນຕອງທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ ULPA ແມ່ນການຮັບປະກັນທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດສໍາລັບວ່າຫ້ອງທີ່ສະອາດສາມາດບັນລຸຄວາມສະອາດທີ່ຕ້ອງການຂອງການອອກແບບ. ວັດສະດຸຂອງການກັ່ນຕອງຍັງຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງພາກສະຫນາມການໄຫຼ. ເມື່ອວັດສະດຸການກັ່ນຕອງຫຍາບຫຼືແຜ່ນການໄຫຼຂອງ laminar ໄດ້ຖືກເພີ່ມໃສ່ທໍ່ການກັ່ນຕອງ, ພາກສະຫນາມການໄຫຼຂອງເຕົ້າສຽບສາມາດໄດ້ຮັບການເຮັດໃຫ້ເປັນເອກະພາບໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍ.

2. ຜົນກະທົບຂອງການໂຕ້ຕອບຄວາມໄວທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຄວາມສະອາດ

ຢູ່ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດດຽວກັນ, ລະຫວ່າງພື້ນທີ່ເຮັດວຽກແລະພື້ນທີ່ບໍ່ເຮັດວຽກຂອງການໄຫຼ unidirectional ຕັ້ງ, ເນື່ອງຈາກຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມໄວຂອງອາກາດຢູ່ຊ່ອງສຽບຂອງ ULPA, ຜົນກະທົບ vortex ປະສົມຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນໃນການໂຕ້ຕອບ, ແລະການໂຕ້ຕອບນີ້ຈະກາຍເປັນເຂດການໄຫຼຂອງອາກາດທີ່ປັ່ນປ່ວນທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງອາກາດ turbulence ສູງໂດຍສະເພາະ. ອະນຸພາກອາດຈະຖືກສົ່ງໄປຫາຫນ້າດິນຂອງອຸປະກອນແລະປົນເປື້ອນອຸປະກອນແລະ wafers.

3. ຜົນກະທົບຂອງພະນັກງານແລະອຸປະກອນ

ເມື່ອຫ້ອງສະອາດຫວ່າງເປົ່າ, ລັກສະນະການໄຫຼຂອງອາກາດໃນຫ້ອງໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການອອກແບບ. ເມື່ອອຸປະກອນເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງບຸກຄະລາກອນແລະຜະລິດຕະພັນໄດ້ຖືກຖ່າຍທອດ, ແນ່ນອນວ່າຈະມີອຸປະສັກຕໍ່ອົງການຈັດຕັ້ງການໄຫຼຂອງອາກາດ. ຕົວຢ່າງ, ຢູ່ມຸມຫຼືແຄມຂອງອຸປະກອນ, ອາຍແກັສຈະຖືກຫັນໄປສູ່ເຂດທີ່ມີຄວາມວຸ້ນວາຍ, ແລະນ້ໍາໃນເຂດດັ່ງກ່າວບໍ່ສະດວກໂດຍອາຍແກັສ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນຈະຮ້ອນຂຶ້ນເນື່ອງຈາກການດໍາເນີນການຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ແລະການ gradient ອຸນຫະພູມຈະເຮັດໃຫ້ເຂດ reflow ຢູ່ໃກ້ກັບເຄື່ອງ, ເຊິ່ງຈະເພີ່ມການສະສົມຂອງອະນຸພາກໃນເຂດ reflow ໄດ້. ໃນເວລາດຽວກັນ, ອຸນຫະພູມສູງຈະເຮັດໃຫ້ອະນຸພາກຫນີໄປໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍ. ຜົນກະທົບສອງຢ່າງເຮັດໃຫ້ຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການຄວບຄຸມຄວາມສະອາດຂອງແຜ່ນຕິດແນວຕັ້ງໂດຍລວມ. ຂີ້ຝຸ່ນຈາກຜູ້ປະຕິບັດງານຢູ່ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດແມ່ນງ່າຍທີ່ຈະຍຶດຕິດກັບ wafers ໃນເຂດ reflow ເຫຼົ່ານີ້.

4. ອິດທິພົນຂອງຊັ້ນອາກາດກັບຄືນ

ເມື່ອຄວາມຕ້ານທານຂອງອາກາດກັບຄືນຜ່ານຊັ້ນແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມກົດດັນຈະຖືກສ້າງຂື້ນ, ດັ່ງນັ້ນອາກາດຈະໄຫຼໄປຕາມທິດທາງຂອງການຕໍ່ຕ້ານຫນ້ອຍ, ແລະການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດທີ່ເປັນເອກະພາບຈະບໍ່ໄດ້ຮັບ. ວິທີການອອກແບບທີ່ນິຍົມໃນປັດຈຸບັນແມ່ນການນໍາໃຊ້ຊັ້ນສູງ. ເມື່ອອັດຕາການເປີດຂອງຊັ້ນສູງແມ່ນ 10%, ຄວາມໄວການໄຫຼຂອງອາກາດໃນຄວາມສູງຂອງຫ້ອງສາມາດແຈກຢາຍໄດ້ເທົ່າທຽມກັນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວນເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ວຽກງານທໍາຄວາມສະອາດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນແຫຼ່ງມົນລະພິດຂອງພື້ນເຮືອນ.

5. ປະກົດການ induction

ອັນທີ່ເອີ້ນວ່າປະກົດການ induction ຫມາຍເຖິງປະກົດການທີ່ກະແສລົມໃນທິດທາງກົງກັນຂ້າມຂອງການໄຫຼເປັນເອກະພາບແມ່ນເກີດ, ແລະຂີ້ຝຸ່ນທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນຫ້ອງຫຼືຂີ້ຝຸ່ນໃນບໍລິເວນຕິດກັນໄດ້ຖືກ induced ກັບ upwind side, ຝຸ່ນສາມາດປົນເປື້ອນ chip ໄດ້. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນປະກົດການ induction ທີ່ເປັນໄປໄດ້:

(1). ຈານຕາບອດ

ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດທີ່ມີການໄຫຼ unidirectional ຕັ້ງ, ເນື່ອງຈາກຂໍ້ຕໍ່ຢູ່ເທິງກໍາແພງ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມີແຜ່ນຕາບອດຂະຫນາດໃຫຍ່ທີ່ຈະສ້າງຄວາມປັ່ນປ່ວນໃນການໄຫຼກັບຄືນທ້ອງຖິ່ນ.

(2). ໂຄມໄຟ

ການຕິດຕັ້ງແສງສະຫວ່າງໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດຈະມີຜົນກະທົບຫຼາຍກວ່າເກົ່າ. ນັບຕັ້ງແຕ່ຄວາມຮ້ອນຂອງໂຄມໄຟ fluorescent ເຮັດໃຫ້ການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດເພີ່ມຂຶ້ນ, ຈະບໍ່ມີພື້ນທີ່ turbulent ພາຍໃຕ້ໂຄມໄຟ fluorescent. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ໂຄມໄຟໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດໄດ້ຖືກອອກແບບເປັນຮູບຊົງ teardrop ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງໂຄມໄຟຕໍ່ອົງການຈັດຕັ້ງການໄຫຼຂອງອາກາດ.

(3.) ຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງຝາ

ເມື່ອມີຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງພາທິຊັນທີ່ມີລະດັບຄວາມສະອາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຫຼືລະຫວ່າງພາທິຊັນແລະເພດານ, ຂີ້ຝຸ່ນຈາກພື້ນທີ່ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດຕ່ໍາສາມາດຖືກໂອນໄປຫາພື້ນທີ່ໃກ້ຄຽງດ້ວຍຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດສູງ.

(4). ໄລຍະຫ່າງລະຫວ່າງເຄື່ອງກັບພື້ນຫຼືຝາ

ຖ້າຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງເຄື່ອງກັບພື້ນຫຼືຝາມີຂະຫນາດນ້ອຍຫຼາຍ, ມັນຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມວຸ່ນວາຍກັບຄືນມາ. ດັ່ງນັ້ນ, ປ່ອຍໃຫ້ຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງອຸປະກອນແລະຝາແລະຍົກເຄື່ອງຂຶ້ນເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການປ່ອຍໃຫ້ເຄື່ອງສໍາຜັດກັບດິນໂດຍກົງ.