ຜົນຜະລິດຂອງຊິບໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດຊິບແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງຢ່າງໃກ້ຊິດກັບຂະຫນາດແລະຈໍານວນອະນຸພາກອາກາດທີ່ຝາກໄວ້ໃນຊິບ. ອົງການຈັດຕັ້ງການໄຫຼຂອງອາກາດທີ່ດີສາມາດເອົາອະນຸພາກທີ່ຜະລິດຈາກແຫຼ່ງຂີ້ຝຸ່ນອອກຈາກຫ້ອງສະອາດແລະຮັບປະກັນຄວາມສະອາດຂອງຫ້ອງສະອາດ. ນັ້ນແມ່ນ, ອົງການຈັດຕັ້ງການໄຫຼຂອງອາກາດໃນຫ້ອງສະອາດມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຜະລິດຊິບ. ເປົ້າໝາຍທີ່ຈະບັນລຸໄດ້ໃນການອອກແບບການຈັດຕັ້ງການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດຄື: ຫຼຸດຜ່ອນ ຫຼືກຳຈັດກະແສລົມໃນບໍລິເວນກະແສລົມເພື່ອຫຼີກລ່ຽງການເກັບຮັກສາອະນຸພາກທີ່ເປັນອັນຕະລາຍ; ເພື່ອຮັກສາລະດັບຄວາມກົດດັນທາງບວກທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂ້າມ.
ຕາມຫຼັກການຫ້ອງສະອາດ, ກຳລັງທີ່ເຮັດໃຫ້ອະນຸພາກປະກອບມີກຳລັງມະຫາຊົນ, ແຮງໂມເລກຸນ, ແຮງດຶງດູດລະຫວ່າງອະນຸພາກ, ແຮງໄຫຼຂອງອາກາດ, ແລະ ອື່ນໆ.
Airflow force: ຫມາຍເຖິງຜົນບັງຄັບໃຊ້ຂອງການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດທີ່ເກີດຈາກການສະຫນອງແລະການສົ່ງຄືນຂອງອາກາດ, ການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດ convection ຄວາມຮ້ອນ, ການປັ່ນປ່ວນປອມ, ແລະກະແສລົມອື່ນໆທີ່ມີອັດຕາການໄຫຼທີ່ແນ່ນອນເພື່ອປະຕິບັດອະນຸພາກ. ສໍາລັບການຄວບຄຸມເຕັກໂນໂລຊີສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ແຮງໄຫຼຂອງອາກາດແມ່ນປັດໃຈສໍາຄັນທີ່ສຸດ.
ການທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າໃນການເຄື່ອນໄຫວຂອງການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດ, particles ເຮັດຕາມການໄຫຼຂອງອາກາດທີ່ເກືອບແທ້ຄວາມໄວດຽວກັນ. ສະພາບຂອງອະນຸພາກໃນອາກາດແມ່ນຖືກກໍານົດໂດຍການກະຈາຍກະແສລົມ. ຜົນກະທົບຕົ້ນຕໍຂອງການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດຕໍ່ອະນຸພາກພາຍໃນປະກອບມີ: ການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດ (ລວມທັງການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດປະຖົມແລະກະແສລົມທີສອງ), ການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດແລະການລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກຄົນຍ່າງ, ແລະຜົນກະທົບຂອງກະແສລົມຕໍ່ອະນຸພາກທີ່ເກີດຈາກການດໍາເນີນງານຂອງຂະບວນການແລະອຸປະກອນອຸດສາຫະກໍາ. ວິທີການສະຫນອງອາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ການໂຕ້ຕອບຄວາມໄວ, ຜູ້ປະກອບການແລະອຸປະກອນອຸດສາຫະກໍາ, ປະກົດການ induced, ແລະອື່ນໆໃນຫ້ອງສະອາດແມ່ນປັດໃຈທັງຫມົດທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ລະດັບຄວາມສະອາດ.
1. ອິດທິພົນຂອງວິທີການສະຫນອງອາກາດ
(1) ຄວາມໄວການສະຫນອງອາກາດ
ເພື່ອຮັບປະກັນການໄຫຼຂອງອາກາດທີ່ເປັນເອກະພາບ, ຄວາມໄວການສະຫນອງອາກາດໃນຫ້ອງສະອາດການໄຫຼ unidirectional ຕ້ອງເປັນເອກະພາບ; ເຂດຕາຍຢູ່ເທິງພື້ນຜິວສະຫນອງອາກາດຕ້ອງມີຂະຫນາດນ້ອຍ; ແລະການຫຼຸດລົງຄວາມກົດດັນພາຍໃນຕົວກອງ hepa ຈະຕ້ອງເປັນເອກະພາບ.
ຄວາມໄວຂອງການສະຫນອງອາກາດແມ່ນເປັນເອກະພາບ: ນັ້ນແມ່ນ, ຄວາມບໍ່ສະເຫມີພາບຂອງການໄຫຼຂອງອາກາດໄດ້ຖືກຄວບຄຸມພາຍໃນ ± 20%.
ມີພື້ນທີ່ຕາຍຫນ້ອຍລົງໃນດ້ານການສະຫນອງອາກາດ: ບໍ່ພຽງແຕ່ພື້ນທີ່ຍົນຂອງກອບ hepa ຄວນຖືກຫຼຸດລົງ, ແຕ່ສໍາຄັນກວ່ານັ້ນ, ຄວນໃຊ້ modular FFU ເພື່ອເຮັດໃຫ້ກອບທີ່ຊ້ໍາກັນງ່າຍ.
ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າການໄຫຼຂອງອາກາດເປັນແນວຕັ້ງແລະ unidirectional, ການເລືອກການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມກົດດັນຂອງການກັ່ນຕອງຍັງມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ, ແລະມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ສູນເສຍຄວາມກົດດັນພາຍໃນການກັ່ນຕອງ.
(2) ການປຽບທຽບລະຫວ່າງລະບົບ FFU ແລະລະບົບພັດລົມໄຫຼຕາມແກນ
FFU ເປັນຫນ່ວຍສະຫນອງອາກາດທີ່ມີພັດລົມແລະການກັ່ນຕອງ hepa. ອາກາດຖືກດູດໂດຍພັດລົມ centrifugal ຂອງ FFU ແລະປ່ຽນຄວາມກົດດັນແບບເຄື່ອນໄຫວເປັນຄວາມກົດດັນສະຖິດຢູ່ໃນທໍ່ອາກາດ. ມັນໄດ້ຖືກລະເບີດອອກຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໂດຍການກັ່ນຕອງ hepa. ຄວາມກົດດັນການສະຫນອງອາກາດຢູ່ເທິງເພດານແມ່ນຄວາມກົດດັນທາງລົບ. ວິທີນີ້ບໍ່ມີຂີ້ຝຸ່ນຮົ່ວເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດເມື່ອປ່ຽນການກັ່ນຕອງ. ການທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າລະບົບ FFU ດີກວ່າລະບົບພັດລົມໄຫຼຕາມແກນໃນແງ່ຂອງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຊ່ອງອາກາດ, ຄວາມຂະຫນານຂອງການໄຫຼຂອງອາກາດແລະດັດຊະນີປະສິດທິພາບການລະບາຍອາກາດ. ນີ້ແມ່ນຍ້ອນວ່າການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດຂະຫນານຂອງລະບົບ FFU ແມ່ນດີກວ່າ. ການນໍາໃຊ້ລະບົບ FFU ສາມາດປັບປຸງອົງການຈັດຕັ້ງການໄຫຼຂອງອາກາດໃນຫ້ອງສະອາດ.
(3) ອິດທິພົນຂອງໂຄງສ້າງຂອງຕົນເອງຂອງ FFU
FFU ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍພັດລົມ, ຕົວກອງ, ຄູ່ມືການໄຫຼຂອງອາກາດແລະອົງປະກອບອື່ນໆ. ການກັ່ນຕອງ hepa ແມ່ນການຮັບປະກັນທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດສໍາລັບຫ້ອງທີ່ສະອາດເພື່ອບັນລຸຄວາມສະອາດທີ່ຕ້ອງການໂດຍການອອກແບບ. ວັດສະດຸຂອງການກັ່ນຕອງຍັງຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງພາກສະຫນາມການໄຫຼ. ເມື່ອວັດສະດຸການກັ່ນຕອງທີ່ຫຍາບຄາຍຫຼືແຜ່ນການໄຫຼຖືກເພີ່ມໃສ່ທໍ່ການກັ່ນຕອງ, ພາກສະຫນາມການໄຫຼອອກສາມາດເຮັດໃຫ້ເປັນເອກະພາບໄດ້ງ່າຍ.
2. ຜົນກະທົບຂອງການໂຕ້ຕອບຄວາມໄວກັບຄວາມສະອາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ
ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດດຽວກັນ, ລະຫວ່າງພື້ນທີ່ເຮັດວຽກແລະພື້ນທີ່ບໍ່ເຮັດວຽກທີ່ມີການໄຫຼ unidirectional ຕັ້ງ, ເນື່ອງຈາກຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມໄວຂອງອາກາດຢູ່ໃນປ່ອງ hepa, ຜົນກະທົບ vortex ປະສົມຈະເກີດຂື້ນໃນການໂຕ້ຕອບ, ແລະການໂຕ້ຕອບນີ້ຈະກາຍເປັນຄວາມວຸ້ນວາຍ. ເຂດກະແສລົມ. ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງຄວາມປັ່ນປ່ວນທາງອາກາດແມ່ນມີຄວາມເຂັ້ມແຂງໂດຍສະເພາະ, ແລະອະນຸພາກອາດຈະຖືກສົ່ງໄປຫາຫນ້າດິນຂອງເຄື່ອງອຸປະກອນແລະປົນເປື້ອນອຸປະກອນແລະ wafers.
3. ຜົນກະທົບຕໍ່ພະນັກງານແລະອຸປະກອນ
ເມື່ອຫ້ອງສະອາດຫວ່າງເປົ່າ, ລັກສະນະການໄຫຼຂອງອາກາດໃນຫ້ອງໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການອອກແບບ. ເມື່ອອຸປະກອນເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງສະອາດ, ຄົນເຄື່ອນຍ້າຍ, ແລະຜະລິດຕະພັນຖືກຂົນສົ່ງ, ມີອຸປະສັກຢ່າງຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້ຕໍ່ກັບອົງການຈັດຕັ້ງການໄຫຼຂອງອາກາດ, ເຊັ່ນ: ຈຸດແຫຼມທີ່ອອກຈາກເຄື່ອງອຸປະກອນ. ຢູ່ທີ່ມຸມຫຼືແຄມ, ອາຍແກັສຈະຫັນໄປສູ່ການໄຫຼວຽນຂອງນ້ໍາທີ່ປັ່ນປ່ວນ, ແລະນ້ໍາໃນພື້ນທີ່ຈະບໍ່ຖືກນໍາໄປໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍໂດຍອາຍແກັສທີ່ເຂົ້າມາ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດ.
ໃນຂະນະດຽວກັນ, ພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນກົນຈັກຈະໄດ້ຮັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນເນື່ອງຈາກການດໍາເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ແລະ gradient ອຸນຫະພູມຈະເຮັດໃຫ້ພື້ນທີ່ reflow ຢູ່ໃກ້ກັບເຄື່ອງ, ເຊິ່ງເພີ່ມການສະສົມຂອງອະນຸພາກໃນເຂດ reflow. ໃນເວລາດຽວກັນ, ອຸນຫະພູມສູງຈະເຮັດໃຫ້ອະນຸພາກຫນີໄປໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍ. ເອັບເຟັກຄູ່ເຮັດໃຫ້ຊັ້ນຕັ້ງລວມເຂັ້ມຂື້ນ. ຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການຄວບຄຸມຄວາມສະອາດຂອງສາຍນ້ໍາ. ຂີ້ຝຸ່ນຈາກຜູ້ປະກອບການໃນຫ້ອງສະອາດສາມາດຕິດຢູ່ກັບ wafers ໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍໃນພື້ນທີ່ reflow ເຫຼົ່ານີ້.
4. ອິດທິພົນຂອງຊັ້ນອາກາດກັບຄືນ
ເມື່ອຄວາມຕ້ານທານຂອງອາກາດກັບຄືນທີ່ຜ່ານພື້ນເຮືອນແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມກົດດັນຈະເກີດຂື້ນ, ເຮັດໃຫ້ອາກາດໄຫຼໃນທິດທາງຂອງການຕໍ່ຕ້ານຂະຫນາດນ້ອຍ, ແລະການໄຫຼຂອງອາກາດທີ່ເປັນເອກະພາບຈະບໍ່ໄດ້ຮັບ. ວິທີການອອກແບບທີ່ນິຍົມໃນປັດຈຸບັນແມ່ນການນໍາໃຊ້ຊັ້ນສູງ. ເມື່ອອັດຕາສ່ວນການເປີດຂອງຊັ້ນສູງຢູ່ທີ່ 10%, ຄວາມໄວການໄຫຼຂອງອາກາດສາມາດແຈກຢາຍໄດ້ເທົ່າທຽມກັນໃນລະດັບຄວາມສູງຂອງການເຮັດວຽກພາຍໃນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວນເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ວຽກງານທໍາຄວາມສະອາດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນແຫຼ່ງມົນລະພິດໃນພື້ນເຮືອນ.
5. ປະກົດການ induction
ອັນທີ່ເອີ້ນວ່າປະກົດການ induction ຫມາຍເຖິງປະກົດການຂອງການສ້າງກະແສລົມໃນທິດທາງກົງກັນຂ້າມກັບການໄຫຼຂອງເອກະພາບ, inducing ຂີ້ຝຸ່ນທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນຫ້ອງຫຼືຂີ້ຝຸ່ນໃນບໍລິເວນຕິດກັນປົນເປື້ອນກັບ upwind, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ຂີ້ຝຸ່ນປົນເປື້ອນ wafer ໄດ້. ປະກົດການ induced ທີ່ເປັນໄປໄດ້ປະກອບມີດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
(1) ຈານຕາບອດ
ຢູ່ໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດທີ່ມີການໄຫຼເຂົ້າທາງດຽວຕາມແນວຕັ້ງ, ເນື່ອງຈາກຂໍ້ຕໍ່ຢູ່ເທິງກໍາແພງ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມີກະດານຕາບອດຂະຫນາດໃຫຍ່ທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການໄຫຼວຽນຂອງ turbulent ແລະ backflow ທ້ອງຖິ່ນ.
(2) ໂຄມໄຟ
ການຕິດຕັ້ງແສງສະຫວ່າງໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດຈະມີຜົນກະທົບຫຼາຍກວ່າເກົ່າ. ນັບຕັ້ງແຕ່ຄວາມຮ້ອນຂອງໂຄມໄຟ fluorescent ເຮັດໃຫ້ການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດເພີ່ມຂຶ້ນ, ໂຄມໄຟ fluorescent ຈະບໍ່ກາຍເປັນພື້ນທີ່ທີ່ປັ່ນປ່ວນ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ໂຄມໄຟໃນຫ້ອງສະອາດຖືກອອກແບບເປັນຮູບຊົງນ້ຳຕາເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງໂຄມໄຟຕໍ່ກັບການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດ.
(3) ຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງຝາ
ເມື່ອມີຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງຝາແບ່ງສ່ວນຫຼືເພດານທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຂີ້ຝຸ່ນຈາກພື້ນທີ່ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດຕ່ໍາສາມາດຖືກໂອນໄປຫາພື້ນທີ່ໃກ້ຄຽງທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດສູງ.
(4) ໄລຍະຫ່າງລະຫວ່າງອຸປະກອນກົນຈັກແລະພື້ນເຮືອນຫຼືກໍາແພງ
ຖ້າຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງອຸປະກອນກົນຈັກແລະພື້ນເຮືອນຫຼືຝາມີຂະຫນາດນ້ອຍ, ຄວາມວຸ້ນວາຍຂອງການຟື້ນຕົວຈະເກີດຂື້ນ. ດັ່ງນັ້ນ, ປ່ອຍໃຫ້ຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງອຸປະກອນແລະຝາແລະຍົກເວທີເຄື່ອງຈັກເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບຫນ້າດິນ.
ເວລາປະກາດ: ວັນທີ 02-02-2023